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Controller di vapore ASM LVC-414-3 54-107950A15

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Controller di vapore ASM LVC-414-3 54-107950A15

LVC-414-3 54-107950A15
Condizione:
New Original
In magazzino:
25
Peso
2.48kg
Demensione
6.3x16.2x16.2cm
  • Dettagli del prodotto
  • Specifiche
  • Consiglia
  • Servizio e politica
Categoria di prodotto: Serie di regolatori di vapore e di flusso di massa ASM
Stato del prodotto:Nuovo e originale
Codice tariffario:85371091
Descrizione del prodotto:
Regolatore di vapore ASM LVC-414-3 54-107950A15
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Informazioni sul prodotto

Il modulo ASM LVC-414-3 54-107950A15 è un regolatore di flusso di massa di vapore liquido ad alta precisione progettato per l'integrazione in apparecchiature per la lavorazione di wafer di semiconduttori, in particolare nei cluster di strumenti per la deposizione chimica da fase vapore (CVD) e la deposizione di strati atomici (ALD). Il modulo funge da sottocomponente intelligente che misura e regola con precisione il flusso di massa esatto dei gas di trasporto che attraversano i gorgogliatori chimici per prelevare e distribuire i droganti precursori nella camera di lavorazione. Costruito con percorsi del gas interni robusti e resistenti agli agenti chimici ad alta purezza e con un'interfaccia di controllo analogico/digitale, l'LVC-414-3 previene la condensazione dei precursori, mantiene rapporti di concentrazione vapore-gas altamente ripetibili e garantisce uniformità del film e stabilità del processo in ambienti di vuoto critici in camera bianca.

Alimentazione logica operazionale standard: ±15 V CC

Interfaccia di ingresso comando/setpoint: analogico da 0 a 5 V CC

Interfaccia di monitoraggio del flusso in uscita: analogico da 0 a 5 V CC

Temperatura ambiente di funzionamento: da 5 °C a 50 °C

Pressione massima di esercizio del sistema: 10 bar

Standard di integrità delle perdite: ≤ 1 × 10⁻⁹ atm·cc/sec Elio

Attività principali

AnyBus (Gateway)

schermo industriale a bassa frequenza

Modulo di input/output remoto (RTU)

Prodotti ausiliari per il controllo industriale

PC industriale (IPC)

Interfaccia uomo-macchina

Controllore logico programmabile (PLC)

Dischi rigidi a bassa capacità per uso industriale SCSI

 

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