La ASML SVG 99-80266-01 è una scheda a circuito stampato (PCB) ad alte prestazioni per controller di stazione di livello industriale, prodotta principalmente negli Stati Uniti. È progettata specificamente per i sistemi di rivestimento e sviluppo per litografia DUV della serie ASML/SVG 90S. Fungendo da unità di elaborazione locale decentralizzata per specifiche sottostazioni di processo, come il modulo di rivestimento del resist, la cottura a piastre riscaldanti o le stazioni di controllo della temperatura del fluido (FTC), questa scheda gestisce attività di sincronizzazione critiche. Ospita chip EPROM dedicati, caricati con firmware proprietario per i sottoassiemi, al fine di regolare la dispersione chimica ad alta precisione e le fasi di elaborazione termica locali lungo il percorso automatizzato dei wafer di semiconduttori.

Supporto di memorizzazione del firmware: chip EPROM a doppia memoria in linea integrati su zoccoli.

Tensione dei binari della logica di funzionamento: +5 V CC

Alimentazione bus I/O periferiche: ±15 V CC o +24 V CC

Assorbimento massimo di corrente del sistema: in genere inferiore a 2,5 A

Intervallo di temperatura di funzionamento: da 15 °C a 55 °C

Temperatura ambiente di conservazione: da -20 °C a 75 °C

AnyBus (Gateway)

schermo industriale a bassa frequenza

Modulo di input/output remoto (RTU)

Prodotti ausiliari per il controllo industriale

PC industriale (IPC)

Interfaccia uomo-macchina

Controllore logico programmabile (PLC)

Dischi rigidi a bassa capacità per uso industriale SCSI

6ES7314-1AF11-0AB0

6ES5460-4UA11

25X8164C1L 6

IC693ALG391

6ED1052-1FB00-0BA6

6ES5460-4UA12

IC754VSI12CTD-KJ

IC693MDL753

6SL3210-1KE22-6AP1

6GK7342-5DA03-0XE0

IS210BPPCH1ACA

DS200TCEAG1BTF

6ES7307-1EA00-0AA0

6ES7365-0BA01-0AA0

IS200EPSMG1AED

UMT162-A

6ES7313-6CG04-0AB0

6ES7193-4CB30-0AA0

IC752SPL013

IS200TRPGH1BDE

3TK2824-2BB40

6ES7193-4CE10-0AA0

IC693PWR321AA

IS200TRLYH1BGG

6ES7155-6AU00-0CNO

6ES7350-2AH01-0AE0

IS215VPROH1BE

IS200EPSMG1ADC