Informazioni sul prodotto

La DAIHEN FLB-60M-03 0190-19674 è una scheda di controllo a microprocessore industriale ad alta precisione integrata nelle reti di gestione della potenza al plasma a radiofrequenza (RF) ad alta frequenza da 60 MHz preesistenti. Questo hardware funge da motore di calcolo per le reti di adattamento automatizzate, che monitorano attivamente le complesse variazioni di impedenza tra un generatore RF industriale e una camera di processo sottovuoto. Eseguendo continuamente algoritmi a circuito chiuso, la scheda calcola le coordinate di compensazione in tempo reale, azionando le regolazioni dei motori e i sintonizzatori di fase per massimizzare la trasmissione di potenza in avanti, minimizzare la potenza riflessa e mantenere un'accensione stabile del plasma durante la microfabbricazione.

Frequenza operativa del sistema: 60 MHz

Ingresso per alimentazione logica: assorbe la tensione standard di +5 V CC (±5%)

Alimentazione analogica: richiede ingressi di alimentazione secondaria a +15 V CC e -15 V CC

Risoluzione di acquisizione analogica: i canali dati analogico-digitali integrati utilizzano matrici di conversione a 12 bit

Temperatura ambiente di funzionamento: da 15 °C a +40 °C

Intervallo di temperatura di conservazione: da -10 °C a +60 °C

Limite di umidità relativa: dal 20% all'80% UR (senza condensa)

EMERSON

ABB

SIEMENS

PR6426-010-000 CON021-916-160

SA801F 3BDH000011R1

6AV6542-0AG10-0AX0

1B30035H01

IMFEC11

6AV2124-0MC01-0AX0

A6210

NI0C01 3BSE005735R1

6ES5314-3UA11

SP1406

SAFT171PAC

6AV3627-1LK00-1AX0

8752-CA-NS-02

PFUK104-YM110002-SD

6DS1200-8BA

PR6423'01K-010 CON021

PFSK101 YM322001-ED

6ES7334-0CE01-0AA0

38B6041X082

HIEE400109R1 HI022755-310 CS A465 AE01

6ES7317-2EK14-0AB0

5X00109G02

NTFC02

6EP1931-2FC21

PR6423-013-010 CON021

PFUK108 YM110001-SH

6ES7332-8TF01-0AB0

HD11010-3A

PM860AK01 3BSE066495R1

6EP3437-8SB00-0AY0

KJ4005X1-BC1 12P4680X032

NDCU-21 63985317B

6ES7321-1BH02-0AA0

5X00790G01

C87-11006

6EP1334-3BA10