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Introduzione del prodotto
ILMKS Instruments 627D11TBC1B È un manometro a capacità assoluta di livello industriale, a temperatura controllata, progettato per fornire misurazioni di pressione accurate, affidabili e ripetibili. Riscaldando internamente il gruppo sensore a una temperatura rigorosamente controllata, riduce significativamente gli effetti delle fluttuazioni termiche ambientali. Dotato di superfici a contatto con il fluido interamente saldate in Inconel® resistente alla corrosione, misura la pressione totale del gas direttamente e indipendentemente dalla composizione del gas.
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Ø Intervallo di pressione a fondo scala: 10 Torr Ø Requisiti di alimentazione in ingresso: richiede un alimentatore esterno a doppia linea di ±15 V CC (±5%) Ø Consumo massimo di corrente: il ciclo logico ad alta efficienza assorbe una corrente inferiore o uguale a 250 mA in continuo. Ø Uscita segnale analogico: fornisce un segnale di uscita analogico di alto livello da 0 a 10 V CC. Ø Temperatura ambiente di funzionamento: Progettato per funzionare in modo impeccabile entro un intervallo termico esterno compreso tra 15 °C e 40 °C. |
Applicazioni e casi d'uso
➟ Controllo dei processi di incisione e deposizione dei semiconduttori: monitoraggio delle soglie critiche di basso vuoto all'interno di apparecchiature per incisione al plasma ad alta potenza e deposizione chimica da fase vapore (CVD).
➟ Infrastrutture per il monitoraggio di gas corrosivi: monitoraggio sicuro delle pressioni del gas in condotte che trasportano fluidi contaminati o altamente reattivi, grazie alla robusta struttura in Inconel®.
➟ Processi termici sottovuoto ad alta resa: fungono da base per la verifica precisa della pressione negli impianti di rivestimento a film sottile o nelle camere a vuoto specializzate per la simulazione aerospaziale.
➟ Strumentazione analitica e circuiti di ricerca: Fornitura di telemetria del vuoto indipendente dal gas per sofisticati sistemi di automazione industriale o circuiti di analisi del gas.
Settore di applicazione
1. Settore energetico, industria degli ascensori, parcheggi, automobili, componentistica automobilistica.
2. Industria dei mangimi, macchinari per la fusione dell'alluminio, industria della refrigerazione.
3. Industria siderurgica, sistema di controllo della combustione, fusione di metalli non ferrosi.
4. Industria del vetro, macchinari di ingegneria, macchinari tessili, trattamento delle acque.
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