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Regolatore di portata massica digitale MKS MC20A-30190

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Regolatore di portata massica digitale MKS MC20A-30190

MC20A-30190
Condizione:
New Original
In magazzino:
25
Peso
1.1kg
Demensione
13.5x4x17cm
  • Dettagli del prodotto
  • Specifiche
  • Consiglia
  • Servizio e politica
Categoria di prodotto:Serie di regolatori di flusso di massa termico ad alta portata ALTA™ di MKS Instruments
Stato del prodotto:Nuovo e originale
Codice tariffario:85371091
Descrizione del prodotto:
Regolatore di flusso di massa digitale MKS MC20A-30190
Il MKS MC20A-30190 è un regolatore di flusso termico digitale ad alta portata da 24 V CC. Grazie all'utilizzo dei protocolli DeviceNet, il MKS MC20A-30190 offre una stabilizzazione del gas ultraveloce e una precisione del setpoint dell'1% per applicazioni nel settore dei semiconduttori.
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Introduzione del prodotto

ILMKS Instruments MC20A-30190È un regolatore di flusso di massa termico completamente digitale e ad alte prestazioni, progettato per regolare l'erogazione di gas di processo con velocità e precisione eccezionali. Parte della famiglia di prodotti ALTA™, questo dispositivo integra un sensore di flusso di massa termico specializzato, un regolatore di feedback a circuito chiuso ad azione rapida e una valvola di controllo sigillata interamente in metallo in un unico ingombro compatto. Progettato per soddisfare i rigorosi requisiti di produttività degli strumenti e di precisione nell'accoppiamento con la camera, l'unità vanta tempi di stabilizzazione del gas ultrarapidi e dispone di una memoria di calibrazione multigas integrata.

 

✦ Tensione di ingresso richiesta: da 11 a 25 V CC

✦ Differenziale di pressione di esercizio normale: da 10 a 40 psid

✦ Corrente massima a regime: assorbimento di corrente massimo di 475 mA

✦ Limiti di temperatura di esercizio: da 0 °C a +50 °C (da 32 °F a 122 °F) margine operativo standard del mobile

✦ Intervallo di temperatura di conservazione: da -20 °C a +65 °C (da -4 °F a 149 °F)

✦ Segnalazione di ingresso/uscita di flusso analogico: comando di setpoint da 0 a 5 V CC e circuito di inseguimento dell'uscita

 

Applicazioni per settore

Fabbricazione di dispositivi a semiconduttore:

Ampiamente utilizzato all'interno di aste di erogazione del gas per alimentare con precisione le camere degli strumenti per la deposizione chimica da fase vapore (CVD) e per l'incisione al plasma, fornendo masse esatte di gas di processo.

Rivestimento a film sottile ad elevata purezza:

Integrato nei processi di produzione di lenti ottiche, vetro e celle solari per garantire una crescita uniforme dello strato di pellicola attraverso parametri di flusso di massa costanti.

Produzione farmaceutica e di dispositivi medici:

Implementato in ambienti a camera bianca per mantenere un rigoroso equilibrio di gas vettori specializzati durante la sintesi di farmaci e i trattamenti sottovuoto dei dispositivi medici.

Servizi di miscelazione e distribuzione del gas:

Utilizzato come nodo digitale localizzato per regolare in modo continuo i flussi di alimentazione di diversi gas, registrando i dati di telemetria in tempo reale e inviandoli a un nodo master PLC centralizzato tramite protocolli DeviceNet.

Settore e Marchio

✅ Petrolio, Impianti chimici: ABB, Bently Nevada, HIMA, Invensys, Westinghouse, Philips

✅ Marina/Navi: ABB, GE

✅ Metropolitane, Ferrovie: AB (Allen-Bradley), Schneider, Invensys

✅ Vetrerie: AB (Allen-Bradley)

✅ Tipografie: AB (Allen-Bradley), GE

✅ Centrali idroelettriche: AB (Allen-Bradley), GE, Schneider

✅ Cementifici: AB (Allen-Bradley), Schneider

✅ Centrali eoliche: ABB, Bachmann

✅ Energia nucleare: AB (Allen-Bradley), ABB, Invensys, Emerson

✅ Energia termica, Acciaierie: Honeywell, ABB

 

Consigli sui prodotti

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